Cheminė mechaninė poliravimo mašina (CMP)
Itin tikslaus plokštumos apdirbimo ekspertas
Nuo LSTD sukūrimo visą dėmesį sutelkite į itin tikslų plokštuminį apdirbimą. Kurti ir pristatyti klientams visame pasaulyje naujus ir pažangius klijavimo/poliravimo produktus ir technologijas; Turėdama didelę itin tikslaus plokščio apdirbimo patirtį, LSTD yra skirta teikti klientams patikimus sprendimus visame pasaulyje.
Patirtis, įgyta iš integruotų žinių apie įvairias medžiagas
Mūsų aptarnaujamos pramonės šakos yra: puslaidininkių, optoelektronikos, tiksliosios optikos, tiksliosios keramikos, atominės elektrinės, naftos eksploatavimo ir pramoninio pritaikymo.
Skirta teikti individualius sprendimus
Patenkinkite visus klientų poreikius dėl mašinų ir mašinų modifikavimo, eksploatacinių medžiagų, procesų kūrimo, subrangovų aptarnavimo.
Cheminio mechaninio poliravimo (CMP) mašina
CP cheminio mechaninio poliravimo mašina (CMP mašina)
- CMP serija gali apdoroti puslaidininkinių medžiagų gamintojus, tokius kaip SI, SIC, GaAs, lnP, GaN, CdTe, deimantai ir kt.
- Plokštės skersmuo nuo 381 mm iki 1500 mm.
- Slėgio plokštės skersmuo nuo 139 mm iki 576 mm.
- Vaflių pakrovimo talpa 2 coliai 3 coliai 4 coliai 5 coliai 6 coliai 8 coliai 12 colių
Tiksli vaško klijavimo mašina
- Slėgio plokštė, aušinimo plokštė ir kitos plokščios slėginės ar slėginės įrangos dalys yra šlifuojamos, kad būtų galima kontroliuoti jų lygumą ir efektyviai užtikrinti vaškavimo tikslumą.
- Slėgio plokštės skersmuo 360 mm Maks.
- šildymo temperatūra 300 laipsnių
- Pneumatinis;Maksimalus 350kg
Daugiafunkcinis poliravimo aparatas
- MFP{0}}A yra daugiafunkcė poliravimo mašina, sukurta specialiai puslaidininkinės įrangos priedams.
- Vakuuminio griebtuvo skersmuo 450 mm, maksimalus ruošinio skersmuo 576 mm.
- Tipiškas pritaikymas: silicio ėsdinimo žiedas, silicio ėsdinimo žiedas, silicio viršutinis elektrodas, dušo galvutė
- Horizontalus poliravimo plokštės judėjimo atstumas: 0-140mm
Automatinė plokštelių atrišimo mašina
- Tai pagalbinė puslaidininkių poliravimo cecho įranga, kuri pjaustymo peiliuku automatiškai iškrauna į kasetę ant keraminės plokštės vašku suklijuotas plokšteles.
- Jis gali būti naudojamas kaip nepriklausomas įrenginys, kuris gali veiksmingai sumažinti plokštelių lūžimo, įbrėžimų ir kt.
- Labai pagerina grandymo efektyvumą.
Kodėl LSTD yra geriausias jūsų pasirinkimas?
95,000 kv. pėd. gamyba ir atsargos.
Puslaidininkių tyrimų ir plėtros centras ir savarankiška SiC plokštelių automatinė poliravimo linija.
Speciali mokslinių tyrimų ir plėtros komanda, turinti bakalauro laipsnį arba didesnį dėmesį procesų plėtrai.
Pasaulinis pardavimų palaikymas, aptarnaujantis klientus visame pasaulyje (JAV, Prancūzija, Vokietija, Singapūras, Pietų Afrika ir kt.)
Karštai parduodami produktai
