Poliravimo srutų valdymo sistema
LSTD CP serijos cheminio mechaninio poliravimo mašinos yra suprojektuotos taip, kad atitiktų tikslią puslaidininkinių plokštelių, tokių kaip Si, Ge, GaAs, InP, GaN, SiC ir pan., cheminio mechaninio poliravimo poreikį. Mašinos pasižymi ir dinaminiu stabilumu, ir pritaikytu pritaikymu. Profesionali projektavimo komanda, procesų tyrimų ir plėtros komanda ir mašinų gamybos komanda bei kvalifikuota reikalinga įranga garantuoja sėkmingą CP serijos puslaidininkinės įrangos pristatymą.
Poliravimo srutų dozavimo sistema (CDS):
Tipiškos funkcijos:
▲ žaliavos skysčio statinės saugojimo valdymas
▲ automatinis (nuotolinis) pradinio tirpalo transportavimas
▲ saugus pradinio tirpalo tiekimas
▲ atsarginių tirpalų tiekimo sistemos priežiūra be išjungimo
Poliravimo srutų maišymas ir centrinė tiekimo sistema:
Tipiškos funkcijos:
▲ kiekybinis poliravimo tirpalo praskiedimas
▲ poliravimo tirpalo maišymas
▲poliravimo skysčio temperatūros kontrolė
▲ poliravimo skysčio statinės ir vamzdyno antikristalizacija ir valymo funkcija
▲ gatavo poliravimo skysčio filtravimas ir nuotolinis transportavimas
▲ sistemos priežiūra be išjungimo
Poliravimo srutų padavimo ir recirkuliacijos sistema:
Tipiškos funkcijos:
▲ kiekybinis poliravimo tirpalo praskiedimas
▲ poliravimo tirpalo maišymas
▲poliravimo skysčio temperatūros kontrolė
▲ poliravimo skysčio statinės ir vamzdyno antikristalizacija ir valymo funkcija
▲ gatavo poliravimo skysčio filtravimas ir nuotolinis transportavimas
▲ sistemos priežiūra be išjungimo
Populiarus Žymos: poliravimo srutų valdymo sistema, Kinijos poliravimo srutų valdymo sistemos gamintojai, tiekėjai, gamykla
Kitas
neTau taip pat gali patikti
Siųsti užklausą