Šlifavimo skystis skirstomas pagal veikimo mechanizmą: mechaninio veikimo šlifavimo skystis, cheminio mechaninio poveikio šlifavimo skystis.
Mechaninis šlifavimo skystis: deimantas, B4C ir kt. naudojami kaip abrazyvai, disperguojami į skystą terpę pridedant dispergentų ir pan., kad susidarytų šlifavimo efektas turintis skystis, vadinamas deimantiniu šlifavimo skysčiu, boro karbido šlifavimo skysčiu ir tt Abrazyvas yra laisvai pasiskirsto dispersiniame skystyje, o ruošinio šlifavimas ir skiedimas realizuojamas taikant principą, kad abrazyvo kietumas yra didesnis nei šlifuojamo ruošinio. Atsižvelgiant į abrazyvo paviršių, dalelių dydį, šlifavimo skysčio konfigūraciją, šlifavimo įrangos stabilumą ir pan., po šlifavimo ant paviršiaus nesunku palikti didelių ar mažų įbrėžimų. ruošinį. Todėl mechaniškai veikiantys abrazyvai dažniausiai naudojami grubiam šlifavimui, o po to atliekamas tikslumas šlifavimas ir poliravimas.
Cheminis-mechaninis šlifavimo skystis: Cheminis-mechaninis šlifavimo skystis naudoja "minkšto šlifavimo ir sukietėjimo" principą susidėvėjus, tai yra, poliruojama minkštesnėmis medžiagomis, kad būtų pasiektas aukštos kokybės poliruotas paviršius. Tai mechaninio šlifavimo ir cheminės korozijos derinys. Jis suformuoja lygų ir plokščią paviršių ant šlifavimo terpės paviršiaus dėl itin smulkių dalelių šlifavimo ir cheminės korozijos poveikio. Todėl cheminis mechaninis poliravimo skystis dar vadinamas cheminiu mechaniniu poliravimo skysčiu (Chemical Mechanical Polishing, vadinamas CMP). Esant tam tikram slėgiui ir poliravimo suspensijai, poliruojamas ruošinys pasislenka poliravimo pagalvėlės atžvilgiu, o poliruoto ruošinio paviršiuje susidaro lygus paviršius dėl organinio nanodalelių ir šlifavimo efekto derinio. oksidatoriaus korozinis poveikis.
